2012年度第１回研究会内容（参加者　１３８名　　懇親会　１１５名）

　１．日　時：　2012年4月24日（火）13時45分〜
　２．場　所：　機械振興会館地下3階 研修室1
　３．懇親会：　17:00〜18:30





　４．プログラム
　　�@「低膜衝撃・高反応性プラズマを活用した成膜装置と
　　　　　高歩留りでの量産を実現する光学膜厚モニタシステム」
　　　　　　並木 恵一 (株式会社オプトラン 技術開発部)

　　　　光学薄膜では埋もれていた技術である反応性プラズマ堆積(RPD)装置および直接　　　式光学薄膜モニタシステムについて取り上げる。近年、RPD 装置固有の問題であっ　　　たプラズマの捩れはｶｽﾌﾟ磁場により解消され、ITO やAZO 成膜などに活用されつつ　　　ある。
　　　　この装置の原理および成膜例を取り上げ、そのポテンシャルを議論する。さらに
　　　高信頼性・膜厚制御法として直接モニタシステムを説明する。近年、回転式ﾄﾞｰﾑの　　　外周部に位置するｻﾝﾌﾟﾙの膜厚を直接ﾓﾆﾀするｼｽﾃﾑが市場に出回り始めている。量産　　　成膜装置に搭載する上で生じる問題を解説し、成膜例を挙げて現時点での技術を説　　　明する。　そして、当日発表が可能であれば更なる改良点・到達点などを論じる。

　　�A「硝子基板のヤケの評価について２」
　　　　　　室谷 裕志（東海大学 工学部 光・画像工学科 教授）

　　　目視観察ではわかりにくいヤケの測定手法について昨年度第1 回研究会で報告し
　　ました。今回は、前回に引き続き、測定手法の再現性や有効性とヤケのある基板に
　　成膜した膜の特性について報告します。

　　�B「膜設計コンテスト”メルクカップ”の発表」
　　　　　　斉藤 則夫(メルク株式会社 新事業開発部)

　　　　第3回研究会で応募をしました膜設計コンテストの結果発表と表彰をいたします。

　　�C「ISO提案 散乱測定について（中間報告）」
　　　　　　室谷 裕志（東海大学 工学部 光・画像工学科 教授）
　　　2012年度に光学薄膜研究会よりISO提案を目指して活動を行っている散乱測定方
　　法の中間報告を行います。研究会会員の方々からいただいた数々の試料を用いて、
　　我々が試みている方法でどのようなデータが取れるかについて報告します。