2013年度 第３回研究会内容（参加者：　研究会 １４７名　　懇親会１１４名）

　１．研究会
　　日時　　：2013年11月15日(金)
　　場所　　：機械振興会館地下2階ホール
　　開催時刻：13:30〜

　２．懇親会：　17:00〜19:00
　　　　　　　　　機械振興会館　地下3階
　　　　　　　　　ニュートーキョーホール　

３．研究会プログラム

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3.1　超音波洗浄技術とフッ素系溶剤の洗浄システムについて(13:40〜14:20)
　　　　　金塚 薫氏　（Ｊ．Ｐ．Ｃ株式会社　装置製造部門　統括部長）
　　　精密洗浄工程において多用されている洗浄ツールの「超音波」に関する基礎技術
　　　と使用上の注意点等についてのご説明と、安全面/環境面において優位性のある
　　　フッ素系溶剤を使用した洗浄システムについてご紹介致します。

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3.2　接触式微細形状測定機による薄膜の測定例と、その原理について(14:20〜15:00)
　　　　　青陰 雅昭氏　（株式会社 小坂研究所　精密機器事業部　営業部）
　　　接触式による薄膜測定と、使用した接触式微細形状測定機の特徴とその他の測定機
　　　それらを用いた応用測定例についてご紹介致します。

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　　　　　　　　　　　　　　　　　 [ 休憩 ](15:00〜15:15)
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3.3　排気系について(15:15〜15:35)
　　　　　千葉 幸喜　（株式会社シンクロン　デザインセンター　部長）
　　　蒸着期の排気系について、種類、特徴、選定方法についてご紹介いたします。
　　
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3.4　Optical Interference Coatings (OIC) 2013報告(15:15〜15:35)
　　　　　室谷 裕志　（東海大学　工学部　光・画像光学科　教授）
　　　　　田村 耕一　（東海光学株式会社　技術グループ　課長）

　　　2013年6月16〜21日　カナダ　ウィスラーにてOICが開催されました。
　　　OICの大まかな内容について報告致します。
　
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3.5　事務局から
　　　・アンケート結果の報告
　　　・宇都宮大学見学会報告
　　　・ＨＰでの企業宣伝
　　　・第4回 2014年1月24日〜25日宿泊研究会　東海大学三保研修館


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　　　　　　　　　　　　　講演（室谷教授）　　　　　　　　　　　　　　　　　　懇親会の乾杯