2013年度 第３回研究会内容（参加者：　研究会 １４７名　　懇親会１１４名）

　１．研究会
　　日時　　：2013年11月15日(金)
　　場所　　：機械振興会館地下2階ホール
　　開催時刻：13:30～

　２．懇親会：　17:00～19:00
　　　　　　　　　機械振興会館　地下3階
　　　　　　　　　ニュートーキョーホール　

３．研究会プログラム

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3.1　高性能紫外可視近赤外分光光度計と光学材料測定用FTIR を用いた
　　 分析技術の紹介（13:40-14:20）
　　　　大西 晃宏 氏 (株式会社 パーキンエルマージャパン横浜本社 EH分析事業部）
　　　高性能分光光度計の光学系を説明し、装置性能を引き出すためのコツを紹介する。
　　紫外可視近赤外領域においては、正透過/反射、拡散透過/反射、全透過/反射の測
　　定に対する考え方や様々なアクセサリの特徴/使用用途/選定の仕方を分析目的に沿
　　って説明する。一方、中赤外領域においては、従来のFTIR と光学材料測定用FTIR
　　の縦軸信頼度の違いを説明する。

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3.2　Progress in Optical Coating Technology: from EUV, advanced filters in
　　 VIS, to IR - coatings. (14:20-15:00）
　　　Dr. Karl Matl (Director of sales and marketing for the market segment
　　　Optics at Leybold Optics GmbH)
　　　Leybold Optics provides vacuum coating systems for optical applications
and also the corresponding technology. The various applications over the whole
wavelength range from EUV, VIS to IR are introduced. The NESSY – sputtering
system for EUV – mirrors is explained. The results with the new developed LION
300 – plasma source for PIAD–technology in box coaters are shown. Sputtering
technology for challenging filter designs and laser coatings with high LIDT has
been demonstrated with the Helios sputtering systems. Results for IR coatings
with SYRUSpro – evaporation systems andfor DLC – coatings will be provided.

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　　　　　　　　　　　　　　　　　 [ 休憩 ](15:00～15:10)
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3.3　真空計測（15:10-15:50）
　　　　吉澤 秀樹 氏 (株式会社アルバック 規格品事業部 PM1部 室長）
　　　真空計（種類・特長・選定方法）と四重極型質量分析計（基礎、特長、データ解
　　析）のそれぞれの装置で取得したデータを踏まえて、データの解析、方法、意味合
　　いなどを紹介します。
　　
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3.4　機能性薄膜のナノ物性計測・分析技術の紹介 (15:50-16:50)
　　　　志知 雄之 氏
　　　　(株式会社日産ｱｰｸ ﾃﾞﾊﾞｲｽ機能解析部 ｼﾆｱｴﾝｼﾞﾆｱ, 慶応義塾大学理工学部 講師)
　　　ナノテクノロジーの進展に伴い機能性薄膜の研究開発、製品化は飛躍的に促進さ
　　れています。それを支える技術として、nmオーダーの薄膜の物性測定（硬さ、弾性
　　率、降伏応力、熱膨張係数、熱伝導性、バンド構造、密着性など）や分析（組成・
　　結合状態・電子状態・結晶構造など）技術を幅広く紹介します。
　
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3.5　事務局から
　　　・アンケート結果の報告
　　　・第4回 2014年1月24日～25日宿泊研究会　東海大学三保研修館
　　　等々


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　　　　　　　　　　　　　懇親会開始のご挨拶（室谷教授）　　　　　　　　　　　懇親会の乾杯