2013年度 第1回研究会内容（参加者：　研究会 146名　　懇親会113名）

　１．研究会
　　日時　　：2014年4月22日(火)
　　場所　　：機械振興会館地下2階ホール
　　開催時刻：13:30～

　２．懇親会：　17:00～19:00
　　　　　　　　　機械振興会館　地下3階
　　　　　　　　　ニュートーキョーホール　

３．研究会プログラム

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3.1　光学装置向け大型クライオポンプと水排気専用トラップについて（13:35-14:20）
　　　　寺島 充級 氏 (アルバック・クライオ株式会社　技術部長）
　　　光学薄膜製造装置に当些細されています、大口径クライオポンプと水排気専用
　　トラップについての使用例と応用例について、ご紹介致します。

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3.2　スリットコーターを用いたウェット成膜技術及びSUPLaDUO装置を用いたイオンプ
　　 レーティング・プラズマCVD成膜装置について (14:20-15:05）
　　 (a)西尾　勤 氏（中外炉工業株式会社 コンバーテックグループ　技術担当理事）
　　　プラスチックフィルム・ガラス基板へのスリットコーターを用いたウェット成膜
　　技術を実例を交えて紹介。　

　　 (b)古屋英二 氏（中外炉工業株式会社 熱処理事業部 成膜技術課 技術部長兼課長）
　　　SUPLaDUO装置による、イオンプレーティング法を用いた低ダメージ成膜及びプラ
　　ズマCVD法を用いたDLC成膜に関して紹介。

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　　　　　　　　　　　　　　　　　 [ 休憩 ](15:00～15:20)
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3.3　光学薄膜の欠陥 (15:20-16:05)
　　　　室谷 裕志 氏 （東海大学工学部　光・画像工学科　主任教授）
　　　光学薄膜の欠陥、特に外観品質の分析について分析方法(SEM, EDX, XPS等)の実例
　　を踏まえて、データの解析、方法、注意点をご紹介いたします。
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3.4　ISO9211シリーズのJIS化 (16:05-16:50)

　　　経緯　：佐藤 正聡氏／株式会社ニコン コアテクノロジーセンター レンズ部
　　　Part1 ：桑山 哲郎氏／キヤノン株式会社 オプティックス42開発室
　　　Part2 ：田村 耕一氏／東海光学株式会社 光機能事業部
　　　Part3 ：長谷川勝二氏／日本分光株式会社 UV/CD技術部 応用技術二課
　　　Part4 ：諸星 裕　氏／オリンパス株式会社 ものづくり革新センター
　　　経緯　：室谷 裕志氏／東海大学 光・画像工学科 主任教授
　　　ISO9211シリーズは、光学薄膜の基本的な用語・分光光学特性・環境耐久性試験
　　方法・特定試験方法を既定している国際標準で、4部構成になっています。当日は、
　　JIS化の経緯や規格の概要および使い方について講演します。

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3.5　事務局から (16:50-17:00)

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　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　懇親会　　　　　　　　　　　会場近くの増上寺