光学薄膜研究会 The Optical Thin-Film Science and Engineering group 

研究会報告reports


2013年度 第1回研究会内容(参加者: 研究会 146名  懇親会113名)


 1.研究会
  日時  :2014年4月22日(火)
  場所  :機械振興会館地下2階ホール
  開催時刻:13:30~

 2.懇親会: 17:00~19:00
         機械振興会館 地下3階
         ニュートーキョーホール 

3.研究会プログラム

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3.1 光学装置向け大型クライオポンプと水排気専用トラップについて(13:35-14:20)
    寺島 充級 氏 (アルバック・クライオ株式会社 技術部長)
   光学薄膜製造装置に当些細されています、大口径クライオポンプと水排気専用
  トラップについての使用例と応用例について、ご紹介致します。

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3.2 スリットコーターを用いたウェット成膜技術及びSUPLaDUO装置を用いたイオンプ
   レーティング・プラズマCVD成膜装置について (14:20-15:05)
   (a)西尾 勤 氏(中外炉工業株式会社 コンバーテックグループ 技術担当理事)
   プラスチックフィルム・ガラス基板へのスリットコーターを用いたウェット成膜
  技術を実例を交えて紹介。
 

   (b)古屋英二 氏(中外炉工業株式会社 熱処理事業部 成膜技術課 技術部長兼課長)
   SUPLaDUO装置による、イオンプレーティング法を用いた低ダメージ成膜及びプラ
  ズマCVD法を用いたDLC成膜に関して紹介。

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                  [ 休憩 ](15:00~15:20)
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3.3 光学薄膜の欠陥 (15:20-16:05)
    室谷 裕志 氏 (東海大学工学部 光・画像工学科 主任教授)
   光学薄膜の欠陥、特に外観品質の分析について分析方法(SEM, EDX, XPS等)の実例
  を踏まえて、データの解析、方法、注意点をご紹介いたします。
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3.4 ISO9211シリーズのJIS化 (16:05-16:50)

   経緯 :佐藤 正聡氏/株式会社ニコン コアテクノロジーセンター レンズ部
   Part1 :桑山 哲郎氏/キヤノン株式会社 オプティックス42開発室
   Part2 :田村 耕一氏/東海光学株式会社 光機能事業部
   Part3 :長谷川勝二氏/日本分光株式会社 UV/CD技術部 応用技術二課
   Part4 :諸星 裕 氏/オリンパス株式会社 ものづくり革新センター
   経緯 :室谷 裕志氏/東海大学 光・画像工学科 主任教授

   ISO9211シリーズは、光学薄膜の基本的な用語・分光光学特性・環境耐久性試験
  方法・特定試験方法を既定している国際標準で、4部構成になっています。当日は、
  JIS化の経緯や規格の概要および使い方について講演します。

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3.5 事務局から (16:50-17:00)

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                             懇親会           会場近くの増上寺











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