光学薄膜研究会 The Optical Thin-Film Science and Engineering group 

研究会報告reports


2014年度 第2回研究会内容(参加者: 研究会 137名  懇親会 116名)


 1.研究会
  日時  :2014年7月15日(火)
  場所  :機械振興会館地下2階ホール
  開催時刻:13:30~

 2.懇親会: 17:00~19:00
         機械振興会館 地下3階
         ニュートーキョーホール 

3.研究会プログラム

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3.1 新しい材料表面評価MSE (Micro Slurry-jet Erosion)試験方法について
     株式会社 パルメソ 代表取締役 松原 亨 様 (13:35~14:15)

    材料の表面から微粒子エッチングをかけながら強さを計測、断面方向の強さ
   分布をナノレベルの分解能で数値化できるMSE試験方法を開発。硬いセラミッ
   クスやガラスから柔らかいゴムまでの事例を交えて紹介します。

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3.2 光学コーティング専用分光光度計について (14:45~14:55)
     株式会社 インデコ 営業部    佐藤 大輔 様
     Essent Optics社  ディレクター Taras Lisouski 様

    光学コーティング専用分光光度計とは何か?分光光度計を選定するにあたっ
   て、どのような機能が求められているか、また、その応用製品についてお話し
   ます。尚、分光光度計の実機展示も行います。


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                  [ 休憩 ](15:00~15:20)
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3.3 Veeco社のブロードバンド光学膜厚モニタとIBS装置 (15:20~16:00)
     元Veeco Instuments 亀山 育也 様

     "Optical coating trends are towards increased material deposition
     rates and more complex optical coating designs. This makes precise
     control of layer thickness critical for achieving the necessary
     coating performance. We provide an overview of broadband optical
     monitoring and it's challenges. Effects of resolution and systematic
     errors on control will be discussed."

     複雑化と正確なコントロールが求められる光学薄膜デザインへのブロード
    バンド光学式膜厚モニタを使ったVeeco社の挑戦とイオンビームスパッタ装置
    をご紹介します。

    
※発表物はVeeco Instruments社のJohn Davis氏が作成し、日本語で亀山氏に
     ご講演頂きます。


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3.4 真空排気系を振り返る (16:00~16:40)
     真空サポート  木ノ切 恭治 様

    低真空から超真空までの真空排気の考え方を考察し、それぞれの排気系の
   実態について実例を紹介します。排気系は夫々の目的にあったものが選ばれ
   ている事がわかります。圧力が低くなるに従って、ガス放出などが重要になり、
   対策も必要になり、その対策事例などを紹介します。

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3.5 事務局から (16:50-17:00)

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                   懇親会            懇親会終了後、会場近くの増上寺から











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