1.研究会
日時 :2015年1月23(金)-24日(土)
場所 :東海大学 三保研修館
開催時刻:13:00~
2.懇親会: 18:00~19:30
東海大学 水族館
3.研究会プログラム
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3.0 代表挨拶
東海大学 工学部 光・画像工学科 室谷教授
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3.1 『偏光と偏光解析法の初歩』
東京工芸大学 川畑 州一 教授
最近、分光エリプソメトリーをはじめ偏光を用いた計測が様々な分野で用いられるようになりました。しかし、偏光は一般の光に比べて大変理解しづらいという声をよく耳にします。ここでは、偏光についての基礎的な事項について解説し、その多様な表示法についても説明します。また、光学薄膜の計測によく用いられている偏光解析法の初歩についても解説します。
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3.2 『分光エリプソメトリーの製品とその応用』
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株)堤 浩一 様
いろいろな産業あるいは研究分野において様々な用途で薄膜が利用されています。この薄膜の評価装置としてこれまでに分光エリプソメーターが幅広く利用されるようになってきました。各種分光エリプソメーターの特長と評価例を紹介します。
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3.3 『DLC膜の光学的特性とその応用』
ナノテック(株)平塚 傑工 様
DLC膜は、各種成膜方法や成膜条件により構造や水素含有量に違いがあり、用途に応じた光学的特性の制御が可能である。本講演では、分光エリプソメトリー法を用いたDLC膜の光学定数と機械的特性や生体適合性等との関連を示す。また、DLC膜の光学的特性を利用した各種用途とその展望を示す。
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3.4 『光学薄膜開発における信頼性(MgF2スパツタリングプロセス開発を事例として)』
オプトグリーン(株)生水 利明 様
これまで主にオリンパス在籍時に、色々な光学薄膜を開発してきましたがその開発の過程で、どのように信頼性(技術の信憑性)を得るようにしてきたかを、MgF2スパッタ開発をメインに解説します。
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水族館での夕食会 宿泊の夜
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4.第3回 小倉名誉教授セミナー(申込者のみ:定員先着30名)
題目 :「光学薄膜への水蒸気の吸脱着現象」
「アクティブ(EC)素子での水蒸気の役割」
【2日目午後】開始 : 13:00~15:00
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