2017年度 第2回研究会内容（参加者：研究会 173名　懇親会115名　）

１．研究会
　　日時　　：2017年9月6(水)
　　場所　　：パシフィコ横浜
　　開催時刻：10:00～16:30

２．懇親会：　17:15～19:15
　　　　　　　リストランテ　アッティモ

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３．研究会プログラム

（１）「クリーン度の管理とパーティクルカウンタの限界と有効性」（10:00-10:45）
　　　　水野 真人様（㈱エアリーテクノロジー　代表取締役 ）　
　HEPA、クリーンルーム、パーティクルカウンタ（OPC）は使われ続けて半世紀、ISOも整い清浄度管理は進歩した。しかし、OPCが一般化したことによる弊害も垣間見える。測定器の今後の有効活用について検討する。

（２）「比較的小さなガラス基板におけるコート前洗浄の方法と問題点」（10:45-11:30）
　　　　浜　公洋 様 (元ソニックフェロー(株))
　洗浄の基本として、汚れ除去から乾燥までの方法について概略説明します。ま比較的小さなコート前ガラス基板について、板ガラスを研磨やカット加工する場合、加工しない受け入れ洗浄など、落としたい汚れをどのように落とし、乾燥までどのように表面を仕上げるか、量産装置として実際の洗浄方法及び問題点を解説します。

（３）「光学材料特性評価における紫外可視分光光度計の分析テクニック」（11:30-12:15）
　　　　大西 晃宏様（メイショーテクノ　代表取締役 ）　
　近年、光学材料の光学的特性はより低い値、より精度の高い値の評価が要求されています。高性能・高精度の特性値を得るためには分光光度計の性能を引き出すための知識や技術が必要です。それらの分析テクニックについて紹介します。

（４）「ダイヤモンドライクカーボン膜，その作り方と光学特性他諸特性」（13:00:13:45）
　　　　滝川 浩史 教授 （豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系教授）
　ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，多様な分野において利用が拡大しつつある。同膜は多様な方法で作製され，特性もそれぞれ異なる。本講では，DLC膜の主要な製造方法，種々の特性，分類，応用例を紹介し，光学定数に基づいた規格化について意見を述べる。

（５）「ナノ構造体微細成形技術による表面機能制御デバイスの開発」（13:45:14:30）
　　　　栗原　一真 様（産業技術総合研究所　集積マイクロシステム研究センター）
　本講演では、ナノ構造体の加工技術や微細成形技術を用いて、ナノ凹凸表面を用いた反射防止機能付撮像系レンズや、表面凹凸を用いて成形品表面の濡れ性制御を変化させ、成形だけで毛細管を発現できるピペットなど、さまざまな機能化表面デバイスの開発を行っているので、開発例について紹介する。

（６）「ナノ形状の超精密測定について」（14:45:15:30）
　　　　本田　裕 様 （(株)小坂研究所　技術部　開発企画チーム　主任）
　表面粗さ測定機の老舗メーカである当社が、薄膜等の微細な表面形状・粗さ・膜厚を高精度に測定するための計測技術と、目的に見合った接触・非接触検出器の特性を解説します。

（７）「偏光解析法による蒸着膜の評価とin-situモニターリング」（15:30:16:15）
　　　　川畑　州一 教授 （東京工芸大学　名誉教授）
　偏光解析法は薄膜や界面の評価および研究において大変有力な手法であるが、成膜などの現場ではあまり活用されていないのが現状です。本講演では蒸着膜のモニターとしての偏光解析法の特色とメリットについて解説します。

（８）事務局からのご案内（16:15-16:30）

　　　　　　　　　研究会　　　　　　　　　　　　　　　　　懇親会