2017年度 第3回研究会内容（参加者：研究会 126名　懇親会89名　）

１．研究会
　　日時　　：2017年11月17(金)
　　場所　　：神奈川県産業技術センター
　　開催時刻：13:00～16:50

２．懇親会：　17:15～19:15
　　　　　　　CIRCUS by hacocoro

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３．研究会プログラム

（１）「光学コーティング技術について」（13:05-13:50）
永井 俊介様（昭和オプトロニクス株式会社　第一技術部　主任）　
反射防止膜やレーザーミラーに用いられる誘電体多層膜の基本的な性質を理解し、光損失や耐光強度などの制約条件について知識を深める。
また、実際にレーザー光学系を設計する上で、レーザーミラーの選定方法や使用方法における注意事項などについて解説する。

（２）「薄膜の外力に対する物性強度評価法」（13:50-14:35）
宝泉　俊寛 様 (株式会社 レスカ　営業部　部長)
薄膜の物性強度評価法として、ボールオンディスク式摩擦摩耗試験・マ
イクロスクラッチ試験・ナノインデンテーション試験及び、ウィルヘルミィ法に
よる動的接触角評価の紹介とその関連性について報告いたします。

（３）「量産用車載部品向け光学薄膜スパッタリング装置」（14:50-15:35）
川又 由雄 様（芝浦メカトロニクス株式会社
メカトロニクスシステム装置統括部 技術第三課開発Gr　主査）　
弊社の量産用車載部品向け光学薄膜スパッタリング装置の紹介を通して
各種光学アプリケーションにおけるプロセス性能データ,課題と改善の事例を説明します。

（４）「プラズマCVD およびRIE による薄膜形成・加工技術」（15:35:16:20）
楠田　豊 様（サムコ株式会社 開発部 プロセス開発課 課長代理）
サムコ㈱では、主にプラズマCVD・エッチング・表面改質の技術開発および装置販売を行っている。弊社で実績が豊富な光学分野におけるTEOS-SiO2 やDLC 等の薄膜形成・加工について紹介する。

（８）事務局からのご案内（16:20-16:50）