2018年度 第4回研究会内容
　　　　　　　（参加者：研究会 25日：99名，　26日：85名，　懇親会52名　）

１．研究会
　　日時　　：2019年1月25日(金)-26日(土)
　　場所　　：ホテルフクラシア大阪ベイ
　　開催時刻：25日　13:00～17:10
　　　　　　　26日　10:00～15:00

２．懇親会：　17:20～19:20

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３．研究会プログラム

【講演内容（初日）】
　　　研究会代表　室谷教授ご挨拶13:00～13:10

① 『信頼性プロジェクト2018年度の活動内容報告』13:10～13:55
　　　光学薄膜研究会　信頼性プロジェクト委員　齊藤 裕二 様

　　　プラスチック基板へ成膜した膜の密着性の定量評価に向けて、光学薄膜研究会で行って
　　いる信頼性プロジェクトの2017年度までのまとめと本年度の活動内容について報告する。


② 『フレキシブルハイブリッドエレクトロニクスによるIoTと
　　　　　　　　　　　　　　　　　新たなビジネスモデル』13:55～15:25
　　　国立研究開発法人産業技術総合研究所人間拡張研究センター
　　　副研究センター長兼スマートセンシング研究チーム長　　牛島 洋史 様

　　　われわれはエレクトロニクスの使用利便性向上を目的に「曲げられる」エレクトロニク
　　スであるフレキシブルデバイスを印刷法によって製造する技術の開発を進めてきた。来た
　　るべきIoT社会でも通用する性能を実現しつつ柔軟性を持たせるために、プラスチックフ
　　ィルム上に印刷形成した配線や電極とMEMS技術によって小型薄型化したシリコンチップを
　　組み合わせるフレキシブルハイブリッドエレクトロニクスが拓く新しいサービスやビジネ
　　スについて議論したい。

------------------------- 休憩　15分間 -------------------------------

③ 『Global spectrophotometry trends; markets, applications and emerging
　　 technologies』15:40～16:25
　　　Travis Burt, Global Product Manager of Cary UV-Vis-NIR　spectrophotometers
　　　Agilent Technologies Australia(M)

　　※本講演は英語ですが、要所要所で日本語の解説をしていただけます。

④　『光学薄膜の構造((柱状とアモルファス)を繋ぐ膜の内部(比)表面積』16:25～17:10
　　　神戸芸術工科大学　名誉教授　小倉 繁太郎 様

　　　光学薄膜の特性(光学・機械的応力)を決めるのは、膜のミクロとマクロの構造であり、
　　柱状構造はこれまで屈折率(膜充填率・水分吸脱着・不均質性・膜応力)をほゞ説明してき
　　た点は周知である。では一方のアモルファス膜では特に膜の機械的特性がミクロボイドに
　　関わる内部表面積の拡張・縮小で説明でき、したがって両者の構造は少なくとも膜の内部
　　比表面積の概念と測定により統一的に理解可能ではないか・・・話題を提供させて頂く。


【講演内容（第2日目）】

⑤『ZYGO Nexview NX2 による薄膜計測と実例紹介』10:15～11:00
　　アメテック株式会社　ザイゴ事業部
　　　アプリケーションエンジニア　野中 悠太郎 様
　　　ZYGO三次元光学プロファイラーは、独自の革新的な機能を備えた非接触三次元表面性状
　　測定機です。白色干渉の原理を用いた測定手法で、あらゆる表面を短時間で超高精度測定
　　が可能です。
　　　本講演では30年以上の表面計測の経験と技術から生み出された新機能と、薄膜計測機能
　　を実例とともにご紹介致します。

⑥『デジタルフォログラフィ検査機DHI-2000に関して』11:00～11:45
　　　タカノ株式会社　技術開発室 若井 克友 様

　　　デジタルフォログラフィ技術と、タカノコア技術の融合により、透明サンプルの内部・
　　表・裏をワンショットで測定可能な検査機のご紹介を、検査事例を踏まえて致します。

------------------------- 昼食休憩　75分間 -------------------------------

⑦『プラズマアシストPVDによる光学薄膜の高機能化』13:00～13:45
　　株式会社シンクロン　 開発部　商品企画Gr. 大瀧 芳幸 様

　　　本講演では、パルスIAD(Ion Assisted Deposition)、バイアスRAS(Radical Assisted
　　 Sputtering)など、弊社の最新のプラズマアシストPVD技術とこれらを用いて成膜した光
　　学薄膜の特長を紹介する。

------------------------- 休憩　15分間 -------------------------------

⑧『The 12th International Conference on Coatings on Glass and Plastics（ICCG12)　　への参加報告』13:45～14:30
　東海大学　　教授　室谷裕志/　修士2年　都野 義樹 様

　　レントゲン博士がレントゲン線を発見したドイツのWürzburgで行われたICCG12での参加
　報告として、興味を引いた発表を紹介する。また、研究室で開発した、スパッタリングと蒸
　着を同時に行う装置で作製した、屈折率1.35程度のSiO2とMgF2膜の光学的特性と機械的特
　性について報告する。